我们知道地球大气层上有一层臭氧层，科学家们已经发现臭氧层能吸收紫外线，研究表明臭氧对波长253.7nm的紫外线大吸收系数，在此波长下紫外线通过臭氧会产生衰减，符合兰波特——比尔定律。该方法已被美国等作为臭氧标准分析方法。
臭氧分析仪是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，能得出臭氧浓度大小。
臭氧分析仪在检测中应注意的事项
1.采样管材料应选用抗强氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不锈钢材料也尽量少用,以减少采样管中臭氧损耗.
2.采样管应尽量短,测量低浓度时一般不要超过2m.
3.从采样管到检测仪器,不要漏气,否则测量值偏低.
4.检测较低浓度(如检测环境)臭氧时,新的聚四氟乙烯管也要充分的进行“臭氧化”,即通过含较高浓度臭氧的气体来稳定采样管内壁.日本荏原公司认为要20min以上才能稳定,而美国莫尼特公司要求数小时.
5.采样管要定时清洗、吹干.不清洁的采样管会使测量值偏低很多.
6.臭氧分析仪要定时进行标定,以测量数据.
