臭氧分析仪是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，能得出臭氧浓度大小。
臭氧分析仪主要由低压紫外灯、入射紫外光反射器、光波过滤器、臭氧吸收池、采样光电传感器、样品光电传感器、输出显示、电路部件构成。是根据Lambert and Beer定律推出的。在这个臭氧浓度计算公式中，只要知道样品电流、采样电流和臭氧吸收池距离，那么我们可以计算出臭氧浓度大小。由于臭氧吸收池的距离的限制，大臭氧浓度只能测到300 O3 g/m。
臭氧分析仪在使用时需注意的事项：
1、采样管材料应选用抗强氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不锈钢材料也尽量少用,以减少采样管中臭氧损耗.
2、采样管应尽量短,测量低浓度时一般不要超过2m.
3、从采样管到检测仪器,不要漏气,否则测量值偏低.
4、检测较低浓度(如检测环境)臭氧时,新的聚四氟乙烯管也要充分的进行“臭氧化”,即通过含较高浓度臭氧的气体来稳定采样管内壁.
5、采样管要定时清洗、吹干.不清洁的采样管会使测量值偏低很多.
6、臭氧分析仪要定时进行标定,以测量数据.
