半导体环境露点仪是用于测量半导体生产环境中气体露点温度的仪器。露点是指气体中的水蒸气在冷却过程中开始凝结的温度，它反映了气体中水分的含量。在半导体制造过程中，对气体中水分的含量有高的要求，因为水分的存在可能会影响半导体材料的性能和成品的质量。因此，半导体环境露点仪在半导体生产中扮演着至关重要的角色。
1、高精度测量：
部分半导体环境露点仪采用先进的传感器技术和测量方法，能够实现高精度的露点测量。例如，英国肖氏SHAW的SUPER-DEW3在线露点仪，其测量精度高达±2℃/±3.6°F DP。
密析尔的Pura Advanced Online 2高纯气体露点变送器在-60°Cdp时精度为±1°C。
2、快速响应：
半导体制造过程中环境湿度的变化需要及时监测和调整，因此露点仪的响应速度至关重要。一些露点仪具备快速响应的特点，能够在短时间内对湿度变化做出响应，提供实时的露点数据。
3、稳定性好：
在半导体生产过程中，露点仪需要在长时间内稳定运行，以确保测量结果的准确性和可靠性。优质的半导体环境露点仪通常具有良好的稳定性，能够在不同环境条件下保持稳定的性能。
4、易于操作和维护：
用户友好的界面和简洁的设计使得操作人员能够轻松上手，快速掌握设备的使用方法。同时，一些露点仪的传感器设计易于更换，降低了设备的维护成本。
