臭氧分析仪是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，能得出臭氧浓度大小。
臭氧分析仪主要由低压紫外灯、入射紫外光反射器、光波过滤器、臭氧吸收池、采样光电传感器、样品光电传感器、输出显示、电路部件构成。是根据LambertandBeer定律推出的。在这个臭氧浓度计算公式中，只要知道样品电流、采样电流和臭氧吸收池距离，那么我们可以计算出臭氧浓度大小。由于臭氧吸收池的距离的限制，大臭氧浓度只能测到300O3g/m。
臭氧分析仪的检测步骤：
1、开启空调；确认风管有风吹入洁净空间；
2、给臭氧发生器通入冷却水；确定臭氧出气口已用管道导入空调送风或回风管道；然后开启臭氧发生器；正常开机时间一般为1小时。
3、臭氧浓度检测仪的开机方法是：长按⊙健（约5秒钟）；有显示后放开；暖机时间为120秒；过了暖机时间可以检测空气中的臭氧浓度；臭氧浓度以数字形式显示在检测仪的显示板上。臭氧浓度超过20ppm时臭氧分析仪会报警并闪光；大量程是100ppm
4、一般建议按时间段进入洁净区检测臭氧浓度；
臭氧发生器工作30分钟后检测；
臭氧发生器工作60分钟后检测；
如有必要则90分钟及120分钟再各检测；
一般臭氧发生器工作30分钟后能马上检测到臭氧浓度；
工常工作时间为1小时；
如果检测不到臭氧浓度或偏低则要检测臭氧是否有导入管道内或者臭氧是否有漏泄；
如果臭氧有漏泄则会导致臭氧浓度偏低；
如果检测空气中臭氧浓度过高则控制好的时间即可。
