106L臭氧分析仪是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，能得出臭氧浓度大小。
臭氧分析仪的工作原理时通过空气样品以恒定的流速进入仪器的气路系统时，样品空气交替地或直接进入吸收池或经过臭氧涤除器再进入吸收池，此时臭氧对254nm波长的紫外光有特征吸收。当零空气样品通过吸收池时被光度检测器测定的光强度为I0；那么含臭氧的空气样品通过吸收池时，被光度检测器测定的光强度为I。如此每经过一个周期，仪器的数据处理系统根据朗伯-比尔定律求出臭氧的浓度。
1、采样管材料应选用抗强氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不锈钢材料也尽量少用,以减少采样管中臭氧损耗.
2、采样管应尽量短,测量低浓度时一般不要超过2m.
3、从采样管到检测仪器,不要漏气,否则测量值偏低.
4、检测较低浓度(如检测环境)臭氧时,新的聚四氟乙烯管也要充分的进行“臭氧化”,即通过含较高浓度臭氧的气体来稳定采样管内壁.
5、采样管要定时清洗、吹干.不清洁的采样管会使测量值偏低很多.
6、臭氧分析仪要定时进行标定,以测量数据.
